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第一章 半导体温度敏感器件1

1.1半导体温敏器件的物理基础1

1.2硅温度敏感器件9

1.3碳化硅pn结温度敏感器件12

1.4晶体管温度敏感器件17

1.5集成电路温度敏感器件21

1.6其它类型温度敏感器件27

参考文献30

第二章 半导体磁敏器件31

2.1半导体磁敏器件基础理论31

2.2MOS磁敏集成电路35

2.3磁敏二构管46

2.4磁敏晶体管51

2.5霍尔开关集成电路55

2.6砷化镓材料霍尔器件58

参考文献61

第三章 半导体压力敏感器件62

3.1半导体压力敏感器件的物理基础62

3.2压力敏感器件的设计76

3.3加速度敏感器件89

3.4集成电路压力敏感器件97

3.5结型场效应力敏器件（4）102

参考文献104

第四章 半导体光（色）敏器件105

4.1光敏器件的基础现论106

4.2半导体色敏器件111

4.3非晶硅光敏器件（1）117

4.4太阳电池125

参考文献141

第五章 半导体湿敏器件143

5.1半导体湿敏器件的基本理论143

5.2二极管湿敏器件151

5.3MOSFET湿度敏感器件153

5.4集成化SIO2湿敏器件157

5.5Mgcr2O4-Tio2半导体湿敏器件159

5.6多功能（Mn3O4-Tio2）湿度-温度敏感器件164

5.7其它类型湿度敏感器件165

参考文献169

第六章 离子敏感器件170

6.1离子敏感场效应晶体管的基础理论170

6.2ISFET的工作原理172

6.3ISFET的设计与制作192

6.4集成化ISFET的设计与制作210

参考文献214

第七章 半导体气敏器件215

7.1半导体气敏器件的原理215

7.2氧化锡气敏器件221

7.3Fe2o3系气敏器件228

7.4半导体二极管气敏器件229

7.5集成化半导体气敏器件231

参考文献241

第八章 半导体感敏器件信号加工242

8.1运算放大器242

8.2仪器放大器247

8.3可编程增益放大器250

8.4敏感器件接口电路的抗干扰措施266

8.5有源滤波器271

8.6输入误差和标定287

8.7函数拟合与线性化288

8.8信号的压缩与扩展291

参考文献296

第九章 敏感器件的接口电路297

9.1脉冲信号的输入297

9.2数字传送与接口302

参考文献320

第十章 敏感器的输出信号计算机处理321

10.1信号的非线性处理321

10.2信号的温度补偿327

10.3数字滤波器332

10.4信号的导出量337

参考文献346

第十一章 敏感器件在微型机系统中的应用347

11.1应用系统的设计347

11.2光电敏感器件在微型机系统中的应用348

11.3温度敏感器件在微型机系统中的应用350

11.4气体敏感器件在微型机系统中的应用358

11.5位移敏感器件在微型机系统中的应用360

参考文献365